HPS-DBL60

视野60*62mm，量程±6.5mm；精度±20μm，重复精度1μm

HPS-LCF3000

X方向分辨率6.3μm，Z方向可重复性0.15μm；镜面角度兼容性±13.5°

HPS-LCF2000

HPS-LCF1000

X方向分辨率2.9μm，Z方向可重复性0.1μm；镜面角度兼容性±20.5°

HPS-NB3200视觉控制器

电源19V≥5A，功率50w，光耦隔离