| 型号 | HPS-LCF2000 | 线长 | 6mm |
| 量程 | 2.5mm | X方向分辨率 | 2.9μm |
| Z方向可重复性 | 0.25μm | 最大扫描速率① | 35000Hz |
| X方向点数 | 2048 | 全量程下扫描速率② | 5000Hz |
| 工作距离 | 17mm | 镜面下角度兼容性 | ±15° |
| 尺寸（宽*高*深） | 260*340*70mm | 重量 | 10kg |
| 防护等级（EN 60529） | IP55 | 电源 | 24 VDC，2A |
| 连接方式 | 40G光纤 | 数字量输入 | 光耦输入输出 |
*①此时量程为全量程的1/8
*②此速率下X方向扫描点数为1024点，2048点时全量程扫描速率为2400Hz
*所有技术指标以官方最新发布的产品数据手册为准
*最终解释权归海伯森所有
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